资料机能
项目
规格
检测步骤
成长方式
直拉法
--
结晶性
单晶
--
导电类型
N型
PN 测试仪
尺寸
M10：：182.2x182.2φ247mm
G12：：210x210 φ295mm
G12-R：：182.3x210 φ272mm
硅片分选机
厚度
M10：：90-160?m
G12：：90-160?m
G12-R：：90-160?m
硅片分选机
| 项目 | 规格 | 检测步骤 |
|---|---|---|
| 成长方式 | 直拉法 | -- |
| 结晶性 | 单晶 | -- |
| 导电类型 | N型 | PN 测试仪 |
| 尺寸 | M10：：182.2x182.2φ247mm G12：：210x210 φ295mm G12-R：：182.3x210 φ272mm |
硅片分选机 |
| 厚度 | M10：：90-160?m G12：：90-160?m G12-R：：90-160?m |
硅片分选机 |
电机能
项目
规格
检测步骤
电阻率
0.6-1.6<Ω·cm>
硅片分选机
少子寿命
≥800<µs>
少子寿命测试仪BCT-400
氧含量
≤12<ppma>
傅里叶变换红外光谱仪
FTIR (ASTM F121-83)
碳含量
≤1<ppma>
傅里叶变换红外光谱仪
FTIR (ASTM F123-91)
| 项目 | 规格 | 检测步骤 |
|---|---|---|
| 电阻率 | 0.6-1.6<Ω·cm> | 硅片分选机 |
| 少子寿命 | ≥800 | 少子寿命测试仪BCT-400 |
| 氧含量 | ≤12 |
傅里叶变换红外光谱仪 FTIR (ASTM F121-83) |
| 碳含量 | ≤1 |
傅里叶变换红外光谱仪 FTIR (ASTM F123-91) |
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